フェムトレーザー

用語の解説

フェムトレーザーとは

(フェムト秒レーザー)
フェムトレーザーとは、時間単位を「フェムト」(千兆分の一)単位で扱い、数フェムト秒から数百フェムト秒の間だけ発光することのできる光レーザーのことである。
半導体の基板にごく微細な穴を空けることが可能であり、半導体工学に技術進展の新境地として期待を集めている。 フェムトレーザーは短時間にエネルギーを圧縮して発振を行う。 そのため、極めて強いレーザー光をきわめて細かい範囲に照射することが可能となる。 フェムトレーザーをガラスに照射すると、ヒビは入らずに、その焦点のあたりで構造が変化し光の屈折率を変えてしまう。 このため、半導体工学の分野だけでなく、ダイヤモンドやガラスなどの加工分野に応用することも期待されている。

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