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厚膜IC

用語の解説

厚膜ICとは

(アツマクIC)

 抵抗や配線などを基板上にスクリーン印刷技術で形成して製造される集積回路(IC)のこと。

 基板上に生成したいパターンを残してマスクを施し、スクリーンの上から印刷面上に印刷材料を塗布する。 印刷面上にはパターン部分のみ印刷材料が転写される。 集積回路の場合、スクリーンを用いて基板上に溶媒に溶かした半導体材料を印刷し、乾燥させる。

 厚膜ICは印刷する半導体材料を薄くすることが難しいため、ICの製造方法としてはフォトリソグラフィ(写真法)を用いた薄膜ICが一般的になった。 しかし、近年では薄膜ICの製造に用いられているフォトリソグラフィは有機半導体材料の劣化原因になるという問題が生じており、再びスクリーン印刷法が注目を集めている。 スクリーン印刷法を利用した有機薄膜トランジスタには、膜厚0.5ミクロン、電極間距離0.5ミクロンの半導体素子の試作成功例がある。

 厚膜ICと薄膜ICの両方の製造技術を組み合わせて製造される集積回路を混成ICという。

用語解説出典   powered by. IT用語辞典 e-Words

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