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厚膜IC

用語の解説

厚膜ICとは

(アツマクアイシー,厚膜回路,厚膜集積回路,thick film integrated circuit,thick film IC,)
厚膜ICとは、半導体集積回路のうち、スクリーン印刷技術を使って、抵抗や配線、コンデンサなどを1枚のセラミック基板上に集積した集積回路のことである。
薄膜ICとともにハイブリッドIC(混成IC)として分類される。 厚膜ICを形成するスクリーン印刷技術は、パターンが形成されたスクリーンを用い、これをマスクとして電導性の印刷材料を基板に塗布する。 するとスクリーンで覆われていない開口部分だけに材料が付着し、回路パターンが形成される。 厚膜ICの回路形成は、フォトレジストと呼ばれる感光性の物質を用いた通常の回路形成に比べて、工程数が少ない、材料の使用効率が高い、などの特徴がある。 また一方で、塗布する材料の膜厚を薄くすることが困難である。 なお、膜厚を薄くする場合には、蒸着法を用いた薄膜IC(thin film integrated circuit)が用いられる。

用語解説出典   powered by. Weblio

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