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MEMS

用語の解説

MEMSとは

(微小電気機械システム,)
MEMSとは、微小な電気機械システムに関する技術の総称である。
用語としてのMEMSは、主に米国で用いられる。 MEMSはいくつかの異なる意味で用いられる場合があるが、通常はシリコンプロセス技術が用いられたマイクロな構造体、センサー、ないしはアクチュエータに関する技術を指す。

用語解説出典   powered by. Weblio

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