MEMS

用語の解説

MEMSとは

(微小電気機械システム,)
MEMSとは、微小な電気機械システムに関する技術の総称である。
用語としてのMEMSは、主に米国で用いられる。 MEMSはいくつかの異なる意味で用いられる場合があるが、通常はシリコンプロセス技術が用いられたマイクロな構造体、センサー、ないしはアクチュエータに関する技術を指す。

用語解説出典   powered by. Weblio

CNET Japan

NEWSLETTERS

エンタープライズ・コンピューティングの最前線を配信

ZDNET Japanは、CIOとITマネージャーを対象に、ビジネス課題の解決とITを活用した新たな価値創造を支援します。
ITビジネス全般については、CNET Japanをご覧ください。

このサイトでは、利用状況の把握や広告配信などのために、Cookieなどを使用してアクセスデータを取得・利用しています。 これ以降ページを遷移した場合、Cookieなどの設定や使用に同意したことになります。
Cookieなどの設定や使用の詳細、オプトアウトについては詳細をご覧ください。
[ 閉じる ]