◎Quantum Global TechnologiesがSEMATECHに参加

QuantumClean 2014年04月30日

From 共同通信PRワイヤー

◎Quantum Global TechnologiesがSEMATECHに参加

AsiaNet 56632
共同 JBN 0481 (2014.4.30)

【クエーカータウン(米ペンシルベニア州)2014年4月30日PRN=共同JBN】
*プロセスツール・チャンバーパーツ洗浄を発展させてサブ20nmウエハー製造プロセス要件に対処する。
*QuantumClean(登録商標)はSEMATECHに参加した最初の半導体業界アウトソース・プロセスツールパーツの洗浄専門企業である。

QuantumClean(登録商標)( (リンク ») )の親会社であるQuantum Global Technologies LLCは30日、プロセスツール・チャンバーパーツ洗浄と解析手法を向上させてサブ20nmのウエハー製造プロセス要件に対応するためにニューヨーク州オルバニーにあるSEMATECHに参加したと発表した。Quantum Clean(登録商標)は、半導体、太陽エネルギー、LED業界向けに認定を受けた高純度アウトソース・プロセスツールパーツ洗浄、表面処理、改修、解析・エンジニアリングサービス、業界で定評がある優れたマイクロコンタミネーション検査ラボChemTrace(登録商標)( (リンク ») )を提供する世界的な大手プロバイダーである。

今回の合意ではSEMATECHとQuantumCleanは、パーティクルを現在の検査能力を超えて検知するためにプロセスツール・チャンバーパーツ洗浄と解析手法を含む新手法の開発でコラボレートする。

QuantumCleanのイノベーション&テクノロジー担当上級ディレクターであるアルデシル・シドワ博士は「SEMATECHと合意できたことは大変喜ばしい。われわれは常に技術を発展させ、最先端のウエハー・ファウンドリとOEM顧客に革新的なソリューションを提供している。われわれの業界はサブ10nmに移行しており、QuantumCleanは表面処理と洗浄の課題に対応できるように準備を整え、パーティクルおよびコンタミネーションを現在の能力を大幅に超えて除去し、それを測定する」と語った。

Quantum Global Technologiesのデービッド・ザック最高執行責任者(COO)は「QuantumCleanはSEMATECHと提携するビジョンを持つ最初で唯一のアウトソース半導体プロセスツールパーツの洗浄専門企業である。QuantumCleanは常に収益の大半をパーツ洗浄および解析技術の開発に投資し、業界最先端のウエハー・ファウンドリおよびOEMからの増え続ける要求に応えてきた。しかし、サブ20nmデザインノード製造や従来のパーツクリーン手法およびそれに関連する計測方法は役に立たないことが分かった。11nmと7nmデザインノード・ソリューションにすでに着手しているSEMATECHとのコラボレーションを通じてこれらの課題は克服され、QuantumCleanは当社の顧客のためにこのノウハウを当社業務に組み込んでいく」と語った。

SEMATECHの技術担当の上級ディレクターであるマイケル・ラーセル氏は「SEMATECHの目標は、将来のデバイスノードの実現を成功させるために必要なインフラストラクチャーを構築することにある。最先端の半導体プロセスで使用される装置、装置部品、材料から生じる不具合の発生、伝播、除去、影響を調査するわれわれの仕事によって、これらのサプライチェーン各社は将来のデバイスノードの困難なコンタミネーション要件に対処することが可能になる。QuantumCleanとの提携によって、精密パーツの追加的な専門的技術がSEMATECHにもたらされ、われわれの研究努力の水準が向上し、将来のテクノロジーノードの課題を見つけ出すというSEMATECHのコミットメントをさらに強化することにつながる」と語った。

▽Quantum Global Technologies, LLC( (リンク ») )について
QuantumClean(登録商標)( (リンク ») )とChemTrace(登録商標)( (リンク ») )は、米ペンシルベニア州フィラデルフィア郊外に本社を置くQuantum Global Technologies LLCの子会社である。

QuantumClean(登録商標)は高純度アウトソース・プロセスツールパーツ洗浄・修復サービス、ツールパーツ延命、プロセスツールパーツ最適化ソリューションを半導体ウエハー製造、OEM、OPM業界に提供する世界的なプロバイダーである。QuantumCleanは2000年に創設され、業界標準を上回るconsistently cleaner parts(登録商標)を通じ顧客プロセスを改善する前提に基づき構築された技術的に斬新なAdvanced Technology Cleaning Center(登録商標)を運営し、同社顧客の総所有コストを大幅に軽減している。QuantumCleanは、9カ国にある18のAdvanced Technology Cleaning Center(登録商標)によって、世界中で最高の洗浄能力と利便性を提供している。

ChemTrace(登録商標)( (リンク ») )は半導体と太陽エネルギー、およびそれに関連する業界を中心にサービスを提供している定評ある有力な参照解析試験ラボであり、同社顧客のマイクロコンタミネーション関連問題に対策とソリューションを提供する。ChemTrace(登録商標)( (リンク ») )は1993年に創設され、厳格な洗浄水準を要求するQuantumClean( (リンク ») )の最先端半導体ファウンドリ、OEM、OPMの顧客多数に対し、プロセスツールパーツ洗浄の有効性に関する独立した解析認定も提供する。

QuantumClean(登録商標)とChemTrace(登録商標)に関する詳細は、それぞれのウェブサイトwww.quantumclean.com、www.chemtrace.comを参照。

▽報道関係問い合わせ先
QuantumClean(R) : Clara Lummus, +1-215-892-9305, info@quantumclean.com
ChemTrace(R) : Robin Puri, +1-503- 251-0979, info@chemtrace.com

▽Sematech( (リンク ») )について
大手半導体デバイス、装置、材料メーカーの国際的なコンソーシアムであるSEMATECH(登録商標)は25年以上にわたり、その製造に関して世界規模の方向、柔軟性のあるコラボレーション、戦略的研究開発の橋渡しなどを設定してきた。ナノエレクトロニクス業界でのコラボレーションを育成するという揺るぎないコミットメントを通じて、われわれはメンバーおよびパートナーが重大な業界変化への対処、技術合意の推進、研究の業界主流への組み込み、製造生産性の向上、リスクの軽減、製品化に要する時間の短縮を実現することを支援する。SEMATECHの詳細はウェブサイト (リンク ») を参照。

ソース:QuantumClean

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