アクセリス・テクノロジー社PURION XEmaxの半導体製造認定取得を発表

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アクセリス・テクノロジー社PURION XEmaxの半導体製造認定取得を発表    イメージセンサー市場向け技術を可能にする新製品ラインの拡張機能

ビバリー、マサチューセッツ州。, 2022年10月11日 /PRNewswire/ -- 半導体業界向けに革新的で生産性の高いソリューションを提供している大手サプライヤーであるアクセリス・テクノロジー社 (Axcelis Technologies, Inc.)（Nasdaq：ACLS）は本日、大手CMOSイメージセンサーメーカーでのPurion XEmax高エネルギーイオン注入システムの製造認定を取得したと発表しました。

社長兼CEOのメアリー・プーマは「この顧客の次世代イメージセンサー技術の開発と製造能力を強化できたことを嬉しく思います。イメージセンサー市場の成長に加え、複数の顧客サイトにPurion XEmaxシステムが設置されたことが契機となり、このツールがさらに普及し、Purionプラットフォームの成長が促進されることを期待しています。」とコメントしました。

Purion XEmaxについて：

新しいPurion XEmax高エネルギー注入装置は、最先端高性能イメージセンサーアプリケーション向けに設計されています。 強化されたビームラインは、複数のフィルタリングシステムを特徴としており、暗電流や白画素数レベルの低下につながる可能性のあるエネルギー金属汚染物質を排除します。Purion XEmaxは、業界をリードするPurion XE高エネルギー注入プラットフォーム上に構築されており、Axcelis社の特許取得済みBoost Technology(TM)により最大15 MeVのビームエネルギーを提供します。革新的な技術により、Purion XEmaxは最も厳密な角度制御と全体的なプロセス制御によって、次世代デバイス向けに高品質のフォトダイオード性能を実現します。

Axcelis社について：

マサチューセッツ州ビバリーに本社を置くAxcelis Technologies社（Nasdaq：ACLS）は、40年以上にわたり半導体業界に革新的で生産性の高いソリューションを提供してきました。Axcelis社は、IC製造プロセスにおいて最も重要で不可欠な工程の一つであるイオン注入 (リンク ») （ (リンク ») ）システムの設計、製造、および完全なライフサイクルサポート (リンク ») （ (リンク ») ）を通じて、実現プロセスアプリケーションの開発に従事しています。Axcelis社の詳細については、 (リンク ») (リンク ») をご覧ください。

連絡先：
Maureen Hart（記事／メディア、米国）+1.978.787.4266
Doug Lawson（インベスター・リレーションズ、米国）+1.978.787.9552
中島・良樹（技術マーケティング、日本）092-260-3345

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ソース：Axcelis Technologies, Inc. 



（日本語リリース：クライアント提供）



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