イリノイ大学、ナノファブリケーション研究所にテクトロニクスの製品を採用

テクトロニクス 2017年10月18日

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[2017年10月17日] 米国オレゴン州ビーバートン発
テクトロニクスは、本日、米国イリノイ大学アーバナ・シャンペーン校の電気/コンピュータ工学部が、学部生用で初となるマイクロ/ナノエレクトロニクス実習用のナノ加工研究所において、ケースレーの4200A-SCS型パラメータ・アナライザ3台と、4200A-CVIV型マルチスイッチ・モジュール3台を購入したことを発表しました。4200A-SCS型はモジュラ形式の統合パラメータ・アナライザであり、材料、半導体のデバイス、プロセスの電気特性評価に最適です。4200A-CVIV型は、DCとACの測定の確実な切り替え、任意のデバイス端子でAC測定が実行可能なマルチスイッチです。

イリノイ大学は、電気/コンピュータ工学部の敷地にナノファブリケーションの研究所として21,368m2の敷地を確保し、学生用の電気/コンピュータ実習トレーニング用の20か所以上の専用施設を建設しています。イリノイ大学は、学生や新しいユーザが最小のトレーニングですぐに使えるよう、ナノ加工研究所用として4200A-SCS型を採用しました。4200A-SCS型は、以下のような優れた操作性を備えています。

日本語、中国語、英語、韓国語による、測定のセットアップ、トラブルシュート方法を解説するYouTube(R)のような動画機能が組込まれている。また、アプリケーション・シート、オンライン・セミナも閲覧可能
テスト・プラン開発のための、そのまま使用/編集可能な450種類以上のアプリケーション・テスト/デバイスを装備
ビジュアル化されたテスト・プラン開発とテスト・シーケンス・ツールを装備
Confidence Check機能により、プローブがウェハ上のパッドに接触していることを確認可能

新しい研究所のインストラクタ/コーディネータであるDane Sievers氏は、次のように述べています。「ケースレーの4200A-SCS型は、最新のパラメトリック機能と優れた操作性を兼ね備えています。機器の操作は非常に直感的であるため、トレーニングを受ける前でもすぐに操作できました」

4200A-SCS型は、I-V特性評価のためのSMU(ソース・メジャー・ユニット)、ACインピーダンス測定のためのC-Vモジュール、パルスI-V、波形取込み、トランジェントI-V測定のための超速パルス測定ユニットで構成されています。研究者、エンジニアは材料研究、半導体デバイスの設計、開発、製造で必要になる重要なパラメータを得ることができます。

テクトロニクス、ケースレー製品ライン、ジェネラル・マネージャのマイク・フラハーティ(Mike Flaherty)は、次のように述べています。「4200A-SCS型は、パラメータ・アナライザを使用したことのないユーザであっても簡単にセットアップでき、操作方法を容易に習得できることに注力して開発されました。4200A-SCS型の操作性は、イリノイ大学における実習に最適であり、半導体デバイスの研究、デバイスの不良解析、信頼性試験など、複数のユーザでリソースを共有するアプリケーションにも適しています」

<テクトロニクスについて>
米国オレゴン州ビーバートンに本社を置くテクトロニクスは、お客様の問題を解決し、詳細の理解を深め、新たな発見を可能にする、革新的で正確かつ操作性に優れたテスト/計測モニタリング・ソリューションを提供しています。テクトロニクスは70年にわたり電子計測の最前線に位置し続けています。
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