マイクロメカトロニクス

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用語の解説

マイクロメカトロニクスとは

（Micromechatronics）

マイクロメカトロニクスとは、マイクロマシンやナノテクノロジーを応用して、従来の機械とはスケールや構造、製作原理まで全く異なった新しい微細技術を実現する技術の総称である。

半導体製造技術が進歩したことによって、メカトロニクスのスケールがさらに一層微小なものになることが要求されている。通常のメカトロニクス環境と微小な世界の環境では、物理的環境が大きく異なるので、それまでは無視しても差し支えのなかった摩擦や粘性の問題、あるいは装置内での発熱処理などが、大きな課題となっている。

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