SEMI規格(Interface-A)に対応した通信ドライバAsyst EIB販売開始

半導体製造装置の高速大容量データ送信を実現

みずほ情報総研株式会社 2006年06月14日

みずほ情報総研株式会社(本社:東京都千代田区、社長:小原 之夫)は、このたび米国Asyst Technologies,Inc.社(本社:カリフォルニア州、社長:Stephen S. Schwartz)が開発した、次世代通信規格「SEMI規格(Interface-A)」に対応した装置組み込み型パッケージソフトウェアAsyst EIBの日本国内総代理店として、半導体製造装置メーカにむけて販売を開始いたしました。

半導体の製造においては、半導体製造装置の稼働率向上や早期の異常検知のために、装置内のセンサーが検知するポンプやバルブ等に関する各種データを収集することが必須であり、既に標準化されたSEMI規格(SECS/GEM)を使用し装置からデータを収集しています。2005年11月、半導体業界における世界的な標準化推進団体であるSEMIは、現在の標準仕様は大容量のデータ収集に向かないことから、新たに次世代通信仕様であるSEMI規格(Interface-A)を制定しました。

この規格に対応した装置では、高速に大量の装置データを提供でき、装置の稼動状況監視や早期の異常検知に効果を発揮することができます。そのため、装置メーカは、半導体を製造販売するデバイスメーカからSEMI規格(Interface-A)を実装することを強く求められていますが、装置メーカにとって新規格の実装は、実装コストや品質面などの課題が山積しており、現状では普及していません。

Asyst EIBはSEMI規格(Interface-A)に完全対応した装置組み込み型パッケージソフトウェアであり、Asyst EIBを導入することで装置メーカは容易に高品質なデータ収集機能を実装できます。また、Asyst Technologies,Inc.社は世界のSECS/GEM対応ソフトウェアマーケットでトップシェアを誇り、豊富な実績を有し品質には定評があることから、次世代規格の実装においても同製品の普及が期待されています。

Asyst EIBには、以下のような特徴があります。

・ICメーカ及び半導体製造装置サプライヤが一体となって情報の提供・管理を行うEES(Equipment Engineering System)構築のための中核技術であるEDA(Equipment Data Acquisition)を実現する為の中核ソフトウェアとして効果を発揮します。

・最新のSEMI規格(E120,E125,E132,E134)に完全準拠しています。

・装置モデル(ノード情報やメタデータ、データコレクションプランなど)の定義をGUIを使用し容易にセットアップできます。

・ACL(Access Control List)のメンテナンスやアクセス制御の管理を容易に行うことが出来ます。

・マルチクライアント対応により同時に複数のクライアントにデータを提供できます。

・各種のユーティリティが統合されたパッケージになっており通信シミュレーションや
メンテナンスが容易です。


みずほ情報総研では20年以上に渡って半導体製造工場の生産管理システム構築を始めとした、さまざまなソリューションを半導体業界に提供してまいりました。今後もこれらの経験と実績を元に、Asyst Technologies,Inc.社のGW製品をはじめとし、半導体製造業を営むお客さまのニーズにマッチしたソリューションをタイムリーに提供いたします。

注:「Asyst」及び「EIB」は米国Asyst Technologies,Inc.社の登録商標または商標です。

■ニュースリリースに関するお問い合わせ
みずほ情報総研株式会社
広報室 穂苅 由紀、平石 祐二
TEL: 03-5281-7548
E-mail: info@mizuho-ir.co.jp

■製品に関するお問い合わせ
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製造ソリューション部 宮崎 真次
TEL: 03-5978-7162
E-mail: mfg_sales@mizuho-ir.co.jp

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