インテルの半導体製造施設「Fab 42」を訪問--写真で巡る - 22/26

Stephen Shankland (CNET News) 翻訳校正: 編集部

2021-12-30 08:30

化学気相蒸着装置

 チップの製造には、シリコンウエハーに材料を塗布したり、パターン化された光に露光させてウエハーの表面を変質させたり、その表面を処理して材料を追加したりといった、多くの工程が必要になる。化学気相の蒸着は、ウエハーの表面に膜を形成するための手法の1つだ。

化学気相蒸着装置

 チップの製造には、シリコンウエハーに材料を塗布したり、パターン化された光に露光させてウエハーの表面を変質させたり、その表面を処理して材料を追加したりといった、多くの工程が必要になる。化学気相の蒸着は、ウエハーの表面に膜を形成するための手法の1つだ。

提供:Stephen Shankland/CNET

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